第1095章

第1095章

面前摊开着厚厚的原厂手册和打印的英文技术文献，眼神里带着审视和尚未消散的抵触。

另一边则是周文兵领衔的老师傅和技术部骨干王晓军等人，穿着工装，面前摆着各种手写笔记、现场记录的参数曲线图。

还有那本被翻得卷了边的《国产半导体设备及材料特性偏差数据库》。

空气里弥漫着无声的角力。

陈哲率先发难，语气竭力保持着专业性的平静：“秦总，周师傅提出的‘预氧化钝化’方案，虽然解决了眼前这批硅片的表面污染问题，但我们必须看到其潜在风险。”

他用激光笔指向投影幕布，上面是复杂的清洗和氧化化学反应方程式。

“这种非标的、低浓度的预氧化处理，本质上是在硅片表面引入了一层成分复杂、厚度不均的非晶态氧化层。

它的存在，会直接干扰后续标准热氧化工艺的动力学过程，影响最终栅氧层的质量和均匀性！

手册之所以没有这个步骤，正是因为其引入的变量难以预测和控制！

我们目前看到的表面洁净只是表象，深层隐患巨大！”

他顿了顿，目光扫过周文兵，“工艺的严谨性和可重复性，是芯片制造的生命线。

我们不能因为一次偶然的成功，就引入可能导致系统性风险的非标操作。”

“偶然？隐患？”

周文兵“啪”

地一声合上他那本卷边的数据库，嗓门洪亮。

“陈工，你口口声声说手册，说标准！

那我问你，手册上写的清洗药水浓度，是按什么硅片定的？是按咱手里这批国产娃的‘皮’定的吗？不是！

它那是按外国娃的‘皮’定的！”

他粗糙的手指用力点着摊开的数据库上关于国产硅片表面特性的条目，“这上面写得清清楚楚！

国产高阻硅片，表面钝化层致密性批次差异大，某些批次易吸附有机污染物形成弱疏水层！

你那标准‘猛药’，对付自家娃是正好，对付咱这‘水土不服’的娃，那就是药不对症！

洗狠了反而伤了根！

咱这‘预钝化’，不是瞎搞，是给娃先垫巴点‘养胃粥’，让它能受得住你那‘猛药’！

这道理，跟王院士这书上说的‘材料缺陷针对性补偿’，一个意思！”

他翻到案例集里一个类似的处理记录。

“看看！

北光所那边，三年前就遇到过类似问题！

人家也是加了道温和的预处理！

这叫啥？这就叫看菜下饭！”

王晓军立刻补充，将笔记本电脑屏幕转向众人，上面是复杂的对比曲线图：“陈工，请看数据。

这是我们对比实验的结果。

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